分析测试中心新购置聚焦离子束电子显微镜已完成安装调试，现面向全所开放运行。该设备融合了离子束和电子束技术，能够进行固体样品表面形貌观察，实现微纳级别的定点加工与透射样品制备等功能。

一、设备主要配置及指标

电子束系统：配备高分辨率电子枪，加速电压范围0.2kV-30kV，束流强度范围0.8pA-90nA。电子束交叉点分辨率：0.6nm @15KV

离子束系统：配有液态Ga离子源，加速电压范围0.5kV-30kV，束流强度范围1pA-60nA。离子束交叉点分辨率：2.5nm@30kV

成像与探测系统：包括二次电子/背散射电子探头、离子探测器、能谱 （EDS）、扫描透射电子探测器（STEM）等，可实现多种信号成像和材料成分分析。

微加工系统：配置Pt/C/W气体注入系统、纳米机械手等用于材料的定点加工和表征。

二、样品要求与注意事项

设备不接受粉末样品、含水样品、非固态样品及生物毒害性样品。设备运行期间，需要专人操作，严禁用户未经培训擅自操作。

三、联系方式

仪器放置地点：师昌绪楼124房间

仪器管理员：马广财

联系电话：83978742/13840090302

电子邮箱：gcma@imr.ac.cn

品牌：Thermo Fisher   型号：Helios G5 UX