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915MHz微博等离子体化学气相沉积系统
Cyrannus/德国Iplas
环形天线耦合技术、高能量密度、均匀区：8英寸
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科研型平面热丝气相沉积系统
自主研发
双层水冷、四路气源、沉积区：φ100 mm
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平面热丝化学气相沉积系统
自主研制
四路气源、沉积区：φ200mm
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连续生产热丝气相沉积系统
自主研制
竖丝+过渡舱设计、可批量生产、沉积区：400×800 cm
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竖式热丝气相沉积系统
自主研发
双面镀膜、侧向开门、四路气源
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多靶磁控溅射镀膜系统
LAB18/美国KURT
可安装五个靶材、两路气体、适用于金属镀膜，陶瓷膜
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电子束蒸发与电阻蒸发复合镀膜系统
DZS-500/沈阳科仪
两种镀膜方法、可选用金属颗粒和金属丝、适用于金属镀膜，化合物膜
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