薄膜材料与界面课题组-中国科学院金属研究所

半导体特性分析系统 Keithley 4200-SCS 半导体与光电器件的I-V，C-V及Z theta 等特性曲线	变温霍尔效应测试仪 Ecopia HMS-5000 半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率等参数测量
双电测四探针测试仪自主研发 Four probes tech RTS-9 测量电阻率	电化学工作站 Metrohm Autolab PGSTAT302N 研究材料电化学性能、电极反应机理、化学反应动力学等
纳米力学测试系统 G200 / 美国 KLA（原安捷伦）搭载 XP、DCM 模块，适用于金属、陶瓷、薄膜力学性能测试	薄膜应力测量仪 FST5000 / 深圳速普 SuPro 采用激光曲率法无损检测，适用于金属、陶瓷薄膜残余应力与翘曲测试